申请/专利权人:新疆蓝晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司
申请日:2023-08-04
公开(公告)日:2024-04-23
公开(公告)号:CN220825851U
主分类号:B24B41/06
分类号:B24B41/06
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.23#授权
摘要:本公开涉及一种夹具,用于对晶棒进行磨削角度的调节,所述夹具包括:支架,用于连接于晶体定向仪,以能够通过所述晶体定向仪检测所述晶棒的磨削角度;安装座,用于固定所述晶棒;连接件,所述连接件绕平行于第一方向的第一枢转轴线可转动地连接于所述支架,所述安装座绕平行于第二方向的第二枢转轴线可转动地连接于所述连接件,所述第一枢转轴线与所述第二枢转轴线垂直;以及调节机构,用于可选择地锁止所述安装座,或驱动所述安装座绕所述第一枢转轴线和或所述第二枢转轴线旋转,以使得所述晶棒的磨削角度达到目标磨削角度。通过上述技术方案,该夹具能够固定晶棒并带动晶棒转动,以实现精确且快速地对晶棒的磨削角度进行调节。
主权项:1.一种夹具,用于对晶棒进行磨削角度的调节,其特征在于,所述夹具包括:支架,用于连接于晶体定向仪,以能够通过所述晶体定向仪检测所述晶棒的磨削角度;安装座,用于固定所述晶棒;连接件,所述连接件绕平行于第一方向的第一枢转轴线可转动地连接于所述支架,所述安装座绕平行于第二方向的第二枢转轴线可转动地连接于所述连接件,所述第一枢转轴线与所述第二枢转轴线垂直;以及调节机构,用于可选择地锁止所述安装座,或驱动所述安装座绕所述第一枢转轴线和或所述第二枢转轴线旋转,以使得所述晶棒的磨削角度达到目标磨削角度。
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权利要求:
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