芯恩(青岛)集成电路有限公司朱琨获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种适于晶圆承载件水平度检测的检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222912727U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422027101.X，技术领域涉及：G01C9/00；该实用新型一种适于晶圆承载件水平度检测的检测装置是由朱琨;彭朝辉;李大川设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适于晶圆承载件水平度检测的检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种适于晶圆承载件水平度检测的检测装置，检测装置在水平方向上设置于晶圆承载件的外围以对晶圆承载件的水平度进行检测，检测装置包括至少一检测组件，检测组件包括相向设置的激光发射元件及激光接收元件，激光发射元件发出的检测光束在晶圆承载件的上方沿水平方向传播。基于该检测装置中的检测组件，通过激光接收元件是否能够接收到激光发射元件所发出的检测光束即能实现晶圆承载件的水平度是否满足要求的快速便捷测量，有效提高了晶圆承载件水平度检测及校准的效率。而通过设置承载组件、多组检测组件和或使得检测装置与晶圆承载件之间可旋转地设置，进一步提高检测效率。
本实用新型一种适于晶圆承载件水平度检测的检测装置在权利要求书中公布了：1.一种适于晶圆承载件水平度检测的检测装置，其特征在于：所述检测装置在水平方向上设置于晶圆承载件的外围以对所述晶圆承载件的水平度进行检测，所述检测装置包括至少一检测组件，所述检测组件包括分列于所述晶圆承载件两侧且相向设置的激光发射元件及激光接收元件，所述激光发射元件发出的检测光束在所述晶圆承载件的上方沿水平方向传播。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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