上海积塔半导体有限公司须晨亚获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种检测蒸镀机中压脚的工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222908040U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422015772.4，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型一种检测蒸镀机中压脚的工装是由须晨亚;解海江;何勇设计研发完成，并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种检测蒸镀机中压脚的工装在说明书摘要公布了：本申请提供一种检测蒸镀机中压脚的工装，包括测力机构，用于测量压脚施加给盖板的压力。通过检测压脚施加到盖板上的压力，可以及时发现并调整压力，避免因压力不当导致的生产中断或重工，从而提高整体生产效率；通过检测压脚压力减少因压脚变形导致的晶圆缺角或碎片，有助于减少材料浪费，从而降低整体制造成本；通过检测和控制压脚压力，确保晶圆在蒸镀过程中的稳定性，减少晶圆边缘磨损和缺角风险，从而提高最终产品的质量和可靠性；避免因压力过大导致的设备损坏，有助于延长治具和设备的使用寿命，减少维护和更换成本；精确控制压脚压力有助于实现更均匀的金属薄膜沉积，从而提高半导体器件的性能和一致性。
本实用新型一种检测蒸镀机中压脚的工装在权利要求书中公布了：1.一种检测蒸镀机中压脚的工装，所述蒸镀机包括行星盘，所述行星盘上设置有多个贯穿孔，所述贯穿孔内设置承载晶圆的晶圆承载机构，所述晶圆承载机构包括设置于所述贯穿孔内的承载环、以及与所述承载环盖合的盖板，沿每个所述贯穿孔的周向设置多个压脚，所述压脚与所述盖板的上表面压合，其特征在于，所述工装包括：测力机构，当所述压脚与所述盖板压合时，所述测力机构用于测量所述压脚施加给所述盖板的压力。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海积塔半导体有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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