安徽风云起科技有限公司陈容传获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽风云起科技有限公司申请的专利晶圆加热器和化学气相沉积系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222908064U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422016253.X，技术领域涉及：C23C16/46；该实用新型晶圆加热器和化学气相沉积系统是由陈容传设计研发完成，并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆加热器和化学气相沉积系统在说明书摘要公布了：本公开涉及一种晶圆加热器和化学气相沉积系统，用于解决晶圆加热器表面的热量分布和温度控制不均匀的技术问题。该晶圆加热器包括：加热部，用于支撑晶圆并对晶圆加热，包括：内加热区，设置于与晶圆的中心区域对应的位置，以及环形外加热区，环绕在内加热区外侧，并与内加热区同心地设置；接口部，设置于加热部的底部，以及控制模块，用于分别对内加热区和环形外加热区的温度进行控制。
本实用新型晶圆加热器和化学气相沉积系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加热器，其特征在于，包括：加热部，用于支撑晶圆并对所述晶圆加热，包括：内加热区，设置于与所述晶圆的中心区域对应的位置，以及环形外加热区，环绕在所述内加热区外侧，并与所述内加热区同心地设置；接口部，设置于所述加热部的底部，以及控制模块，用于分别对所述内加热区和所述环形外加热区的温度进行控制。
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