上海芯绒科技有限公司许森获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯绒科技有限公司申请的专利小型化MEMS压力传感器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222912941U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421985956.7，技术领域涉及：G01L1/22；该实用新型小型化MEMS压力传感器是由许森设计研发完成，并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本小型化MEMS压力传感器在说明书摘要公布了：本申请涉及MEMS传感器技术领域，具体而言，涉及一种小型化MEMS压力传感器。小型化MEMS压力传感器，包括：基底，包括应变膜和沿所述应变膜便于设置并支撑所述应变膜的基座；压敏电阻，设置于所述应变膜；其中，所述应变膜和所述基座的内侧面的夹角为90°。在上述技术方案中，应变膜和基座的内侧面的夹角为90°，也即是，基座的内侧面为直面，相比于基座的内侧面为斜面的设置方式，这样能够在保证应变膜尺寸的情况下尽可能地减小基底的尺寸，从而能够减小MEMS压力传感器的结构尺寸，有利于实现传感器的小型化设计。
本实用新型小型化MEMS压力传感器在权利要求书中公布了：1.一种小型化MEMS压力传感器，其特征在于，包括：基底，包括应变膜和沿所述应变膜边缘设置并支撑所述应变膜的基座；压敏电阻，设置于所述应变膜；其中，所述应变膜和所述基座的内侧面的夹角为90°。
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