湖南联合半导体科技有限公司邓春阳获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南联合半导体科技有限公司申请的专利一种用于CVD的供气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222908058U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421966688.4，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种用于CVD的供气装置是由邓春阳;王良均;杨泰生;吴承晚设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于CVD的供气装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于CVD的供气装置，包括原料罐和载气管道，所述原料罐内腔底部设置有载气鼓泡管，所述载气鼓泡管与所述载气管道连通，所述原料罐的顶部连通有出气管，原料罐侧壁的下部设置有下方加热线圈，所述原料罐侧壁的上部设置有上方加热线圈；原料罐侧壁下部设置有第一温度传感器，原料罐侧壁上部设置有第二温度传感器；原料罐内腔中还设置有至少两个匀气板，至少两个匀气板在竖直方向上间隔设置，所述匀气板上设置有若干个通孔；所述出气管和所述载气管道上均设置有气体流量计。本实用新型有利于实现对固体原料的可靠、稳定、精确供应，通过设置第一混气罐和第二混气罐能够防止进气气管上阀门被堵死，降低设备维护成本。
本实用新型一种用于CVD的供气装置在权利要求书中公布了：1.一种用于CVD的供气装置，包括原料罐13和载气管道24，所述原料罐13内腔底部设置有载气鼓泡管20，所述载气鼓泡管20与所述载气管道24连通，所述原料罐13的顶部连通有出气管6，其特征在于：原料罐13侧壁的下部设置有下方加热线圈18，所述原料罐13侧壁的上部设置有上方加热线圈14；所述原料罐13侧壁下部设置有第一温度传感器16，所述原料罐13侧壁上部设置有第二温度传感器17；所述原料罐13内腔中还设置有至少两个匀气板15，至少两个匀气板15在竖直方向上间隔设置，所述匀气板上设置有若干个通孔15.1；所述出气管6和所述载气管道24上均设置有气体流量计4。
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