中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司徐亚平获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利一种复合法兰结构及炉管设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222911110U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421960219.1,技术领域涉及:F16L41/03;该实用新型一种复合法兰结构及炉管设备是由徐亚平设计研发完成,并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种复合法兰结构及炉管设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体制备工艺领域,特别涉及一种复合法兰结构及炉管设备。复合法兰结构中第一法兰的第一进气管口通过第一进气管路与炉管腔体内部连通;第二法兰的第二进气管口通过第二进气管路与炉管腔体内部连通;第三法兰的内周设有环形进气结构;第三进气管口通过所述环形进气结构与所述炉管腔体内部连通;各法兰之间通过紧固组件可拆卸连接;通过旋转第一法兰、第二法兰或所述第三法兰,以调整相对所述炉管设备的进气角度。如此通过反复拆装的方式,实现进气角度的任意调整,大大降低的定制成本及实验优化周期,提升研发效率;反应气体经过第三法兰的环形进气结构进入炉管腔体内,可降低副产物在法兰内壁的累积,降低颗粒产生。
本实用新型一种复合法兰结构及炉管设备在权利要求书中公布了:1.一种复合法兰结构,应用于炉管设备,其特征在于,包括第一法兰1、第二法兰2、第三法兰3;所述第一法兰1具有第一进气管口11;所述第一进气管口11通过第一进气管路12与炉管腔体4内部连通;所述第一法兰1周向连接于所述炉管腔体4的端口边缘;所述第二法兰2具有第二进气管口21;所述第二进气管口21通过第二进气管路22与所述炉管腔体4内部连通;所述第三法兰3的内周设有环形进气结构;所述环形进气结构连接第三进气管口31;所述第三进气管口31通过所述环形进气结构与所述炉管腔体4内部连通;所述第三法兰3与所述炉管设备的基座紧固连接;所述第一法兰1与所述第二法兰2之间、以及所述第二法兰2与所述第三法兰3之间通过紧固组件5可拆卸连接;通过旋转所述第一法兰1、所述第二法兰2或所述第三法兰3,以调整相对所述炉管设备的进气角度。
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