苏州晶睿半导体科技有限公司杨刚获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州晶睿半导体科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆片定位治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222914769U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421946047.2,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型一种半导体晶圆片定位治具是由杨刚;魏亮;赵勇设计研发完成,并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆片定位治具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体晶圆片定位治具,包括工作台,所述工作台的顶部固定连接有四个支架,四个所述支架上均固定连接有安装板,四个所述安装板上均穿插有与其固定连接的电动推杆一,四个所述电动推杆一的一端均固定连接有定位板,四个所述定位板的一侧分别穿插于四个安装板上并与其滑动连接,四个所述安装板上均穿插有与其转动连接的旋转杆,四个所述旋转杆上均套设有与其固定连接的齿轮,四个所述定位板的顶部均固定连接有与齿轮相啮合的齿板。该实用新型,在对晶圆片进行定位和夹持之前,会对晶圆片表面进行清洁,进而有效的避免晶圆片表面附着灰尘和杂质的情况出现,提升晶圆片表面平整度,提升夹持的稳定性。
本实用新型一种半导体晶圆片定位治具在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆片定位治具,包括工作台1,其特征在于:所述工作台1的顶部固定连接有四个支架2,四个所述支架2上均固定连接有安装板3,四个所述安装板3上均穿插有与其固定连接的电动推杆一4,四个所述电动推杆一4的一端均固定连接有定位板5,四个所述定位板5的一侧分别穿插于四个安装板3上并与其滑动连接,四个所述安装板3上均穿插有与其转动连接的旋转杆6,四个所述旋转杆6上均套设有与其固定连接的齿轮7;四个所述定位板5的顶部均固定连接有与齿轮7相啮合的齿板8,四个所述旋转杆6的两端均固定连接有旋转盘9,八个所述旋转盘9上设置有夹持机构10,相邻两个所述旋转盘9的相对一侧均固定连接有清洁块11,所述工作台1的顶部固定连接有置物板12,所述置物板12的定位设置有晶圆片13。
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