荣芯半导体(淮安)有限公司李俊获国家专利权
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龙图腾网获悉荣芯半导体(淮安)有限公司申请的专利样品冷却装置及扫描电子显微镜获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222914725U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421936050.6，技术领域涉及：H01J37/02；该实用新型样品冷却装置及扫描电子显微镜是由李俊;杨中杰;彭连举设计研发完成，并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本样品冷却装置及扫描电子显微镜在说明书摘要公布了：本申请公开了一种样品冷却装置及扫描电子显微镜，样品冷却装置包括：金属壳体，所述金属壳体围合形成一容纳空间，所述金属壳体的一侧为承载部，所述承载部的第一侧用于承载样品；第一绝缘导热件，所述第一绝缘导热件位于所述容纳空间，且所述第一绝缘导热件的第一侧与所述承载部的第二侧贴合；帕尔贴制冷器件，所述帕尔贴制冷器件位于所述容纳空间中，所述帕尔贴制冷器件的冷端与所述第一绝缘导热件的第二侧贴合；绝缘基座，所述绝缘基座位于所述容纳空间中，所述帕尔贴制冷器件的热端与所述绝缘基座贴合。根据本申请的样品冷却装置及扫描电子显微镜，可以将诸如晶圆之类的样品冷却至特定温度，提升样品在扫描电子显微镜中的观测效果。
本实用新型样品冷却装置及扫描电子显微镜在权利要求书中公布了：1.一种样品冷却装置，其特征在于，包括：金属壳体，所述金属壳体围合形成一容纳空间，所述金属壳体的一侧为承载部，所述承载部的第一侧用于承载样品；第一绝缘导热件，所述第一绝缘导热件位于所述容纳空间中，且所述第一绝缘导热件的第一侧与所述承载部的第二侧贴合；帕尔贴制冷器件，所述帕尔贴制冷器件位于所述容纳空间中，所述帕尔贴制冷器件的冷端与所述第一绝缘导热件的第二侧贴合；绝缘基座，所述绝缘基座位于所述容纳空间中，所述帕尔贴制冷器件的热端与所述绝缘基座贴合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人荣芯半导体(淮安)有限公司，其通讯地址为：223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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