昊石新材料科技南通有限公司董发获国家专利权
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龙图腾网获悉昊石新材料科技南通有限公司申请的专利一种碳化硅石墨载盘气浮装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222914750U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421918939.1，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种碳化硅石墨载盘气浮装置是由董发;陆伟志;张志豪设计研发完成，并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅石墨载盘气浮装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及石墨载盘气浮装置技术领域，具体为一种碳化硅石墨载盘气浮装置，包括基座本体，所述基座本体靠近顶部的一侧开设有腔室，所述基座本体靠近腔室的顶部开设有通气孔，所述基座本体靠近腔室的底部开设有调节槽，所述调节槽的内部设置有电动推杆，所述电动推杆的输出端固定连接有顶板。本实用新型的优点在于：使用时，正向启动电动推杆可将顶板移动至调节槽的顶端，此时腔室仅有通气孔可以排出气体，通过进气管排入腔室的氢气可直接通过通气孔向上排出，使用完毕后，反向启动电动推杆可将顶板移动至管道底部的位置，启动吸尘器即可通过管道将腔室内和顶板顶部的石墨粉进行抽取清理，达到便于清理腔室内石墨粉的目的。
本实用新型一种碳化硅石墨载盘气浮装置在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅石墨载盘气浮装置，其特征在于：包括基座本体1，所述基座本体1靠近顶部的一侧开设有腔室2，所述基座本体1靠近腔室2的顶部开设有通气孔3，所述基座本体1靠近腔室2的底部开设有调节槽4，所述调节槽4的内部设置有电动推杆5，所述电动推杆5的输出端固定连接有顶板6，所述基座本体1靠近调节槽4顶部的一侧固定连接有管道7；所述调节槽4靠近底部的内壁开设有螺纹槽8，所述电动推杆5的底端固定连接有螺纹柱9，所述螺纹柱9的底部固定连接有挡板10，所述挡板10的底部固定连接有捏板14，所述腔室2靠近顶部的一侧固定连接有进气管11，所述进气管11的输出端固定连接有斜管12。
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