兴宇宏半导体科技(苏州)有限公司刘建蔚获国家专利权
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龙图腾网获悉兴宇宏半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种具有摆放结构的晶圆加工用花篮获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222914751U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421919304.3,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种具有摆放结构的晶圆加工用花篮是由刘建蔚;廖爱娟;陈荔芬设计研发完成,并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有摆放结构的晶圆加工用花篮在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种具有摆放结构的晶圆加工用花篮,包括安装支板,所述安装支板的数量设置有两个,两个所述安装支板相互靠近的一侧固定连接有第一定位板,所述第一定位板的中部开设有第一定位槽,所述安装支板靠近第一定位板的一侧固定连接有第二定位板。本实用新型通过第一固定螺栓将第一调节板和第二调节板安装在安装支板上后,使第一调节板和第二调节板上的调节槽对齐,并使两安装支板移动至合适距离后,将第一调节螺栓安装在调节槽内,并旋入第一固定板中,从而将两个安装支板固定,需要对尺寸调节时,将第一固定螺栓从调节槽和第一固定板中旋出,并使第一调节板和第二调节板产生相对滑动,即可对花篮尺寸进行调节。
本实用新型一种具有摆放结构的晶圆加工用花篮在权利要求书中公布了:1.一种具有摆放结构的晶圆加工用花篮,包括安装支板1,其特征在于:所述安装支板1的数量设置有两个,两个所述安装支板1相互靠近的一侧固定连接有第一定位板2,所述第一定位板2的中部开设有第一定位槽3,所述安装支板1靠近第一定位板2的一侧固定连接有第二定位板4,所述第二定位板4的中部开设有第二定位槽5,所述安装支板1的背面开设有第一螺纹孔6,所述第一螺纹孔6的背面固定安装有调节组件7。
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