武汉楚兴技术有限公司黄能获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉楚兴技术有限公司申请的专利一种晶圆传送装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222914765U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421942168.X，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆传送装置是由黄能设计研发完成，并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传送装置在说明书摘要公布了：本申请公开一种晶圆传送装置，包括升降模组、传送模组和传送组件；所述传送组件包括多个传送架和多个机械手，所述传送架和所述机械手数量相同且一一对应，所述机械手设于所述传送架，多个所述机械手从下至上依次设置，所述机械手用于承载所述晶圆；所述传送架和所述传送模组连接，所述传送模组能够驱动所述传送架在水平方向上移动，所述传送模组和所述升降模组连接，所述升降模组能够驱动所述传送模组带动所述传送架升降。该晶圆传送装置在应用时，能够一次传送两片以上晶圆，可减少传送次数，缩短传送时间，相应地可提高生产效率。
本实用新型一种晶圆传送装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传送装置，其特征在于，包括升降模组（1）、传送模组（4）和传送组件（5）；所述传送组件（5）包括多个传送架（51）和多个机械手（52），所述传送架（51）和所述机械手（52）数量相同且一一对应，所述机械手（52）设于所述传送架（51），多个所述机械手（52）从下至上依次设置，所述机械手（52）用于承载晶圆；所述传送架（51）和所述传送模组（4）连接，所述传送模组（4）能够驱动所述传送架（51）在水平方向上移动，所述传送模组（4）和所述升降模组（1）连接，所述升降模组（1）能够驱动所述传送模组（4）带动所述传送架（51）升降。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人武汉楚兴技术有限公司，其通讯地址为：430040 湖北省武汉市东西湖区径河街网安大道7号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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