买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉江苏瑞芯微电子有限公司申请的专利一种晶圆吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222914774U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421914511.X，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆吸附装置是由毛雯琪;刘扬扬;王磊;王菲菲设计研发完成，并于2024-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆吸附装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆吸附装置，包括支撑架和连接臂，所述支撑架的顶端设置有连接臂，且连接臂延伸至支撑架的外部，所述支撑架下方的连接臂底端安装有连接盘，且连接盘与支撑架活动连接，所述支撑架的外壁上设置有活动架，所述活动架靠近支撑架的一端对称安装有铰接轴，且活动架经过铰接轴与支撑架活动连接，所述活动架的外壁上安装有支撑台，所述支撑台的外壁上安装有支撑座，所述支撑座的内部活动安装有转动轴。本实用新型不仅实现了便捷的撑开调节式吸附，方便了进行角度调节式吸附，而且方便了对大尺寸的晶圆进行多组转动式吸附，提高了吸附装置吸附的灵活性。

本实用新型一种晶圆吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆吸附装置，包括支撑架1和连接臂2，其特征在于：所述支撑架1的顶端设置有连接臂2，且连接臂2延伸至支撑架1的外部，所述支撑架1下方的连接臂2底端安装有连接盘3，且连接盘3与支撑架1活动连接，所述支撑架1的外壁上设置有活动架4，所述活动架4靠近支撑架1的一端对称安装有铰接轴30，且活动架4经过铰接轴30与支撑架1活动连接，所述活动架4的外壁上安装有支撑台5，所述支撑台5的外壁上安装有支撑座15，所述支撑座15的内部活动安装有转动轴6，且转动轴6延伸至支撑座15的外部，所述转动轴6的底端安装有连接架7，所述连接架7的外壁上设置有等间距的多组弧形臂8，所述弧形臂8靠近连接架7的一端皆安装有活动轴11，且弧形臂8皆经过活动轴11与连接架7活动连接，所述弧形臂8的底端皆安装有第一真空吸盘9，所述第一真空吸盘9一侧的弧形臂8外壁上皆安装有第二真空吸盘10，所述弧形臂8一侧的连接架7外壁上皆活动安装有第一电动推杆12，所述第一电动推杆12的输出端皆安装有伸缩杆13，所述伸缩杆13靠近弧形臂8的一端皆安装有连接轴14，且伸缩杆13皆经过连接轴14与弧形臂8活动连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏瑞芯微电子有限公司，其通讯地址为：225699 江苏省扬州市高邮经济开发区波司登大道南侧3号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。