三和技研股份有限公司蒋涵茵获国家专利权
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龙图腾网获悉三和技研股份有限公司申请的专利晶圆定位装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222914767U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421878805.1，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型晶圆定位装置是由蒋涵茵;萧擎宇;陈柏谚设计研发完成，并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆定位装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆定位装置，包括本体、载台、支架、光学模块以及控制模块。载台活动地设置于本体。支架立设于本体上且局部悬于本体上方，以使支架与本体形成检测空间。晶圆承载于载台上且受载台驱动而相对于本体旋转，且晶圆的边缘行经检测空间，其中支架与本体形成检测空间的至少一表面是光吸收面。光学模块包括光源与图像获取器，光源设置于本体内，图像获取器设置于支架内。控制模块电性连接载台与光学模块，其中控制模块驱动光源投射出光束，光束依序穿过本体与检测空间并穿入支架而由图像获取器接收，以对晶圆的边缘进行检测。本实用新型提供的晶圆定位装置，以有效率地完成晶圆定位，而有利于后续晶圆处理工艺的进行。
本实用新型晶圆定位装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆定位装置，其特征在于，包括：本体；载台，活动地设置于所述本体；支架，立设于所述本体上且局部悬于所述本体上方，以使所述支架与所述本体形成检测空间，晶圆承载于所述载台上且受所述载台驱动而相对于所述本体旋转，且所述晶圆的边缘行经所述检测空间，其中所述支架与所述本体形成所述检测空间的至少一表面是光吸收面；光学模块，包括光源与图像获取器，所述光源设置于所述本体内，所述图像获取器设置于所述支架内；以及控制模块，电性连接所述载台与所述光学模块，其中所述控制模块驱动所述光源投射出光束，所述光束依序穿过所述本体与所述检测空间并投射入所述支架而由所述图像获取器接收，以对所述晶圆的所述边缘进行检测。
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