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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利半球谐振陀螺的多自由度微位移测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118565525B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411044725.0，技术领域涉及：G01C25/00；该发明授权半球谐振陀螺的多自由度微位移测量装置是由锁刘佳;张泽田;张晓鹏;王大志;王巷钧设计研发完成，并于2024-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本半球谐振陀螺的多自由度微位移测量装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种半球谐振陀螺的多自由度微位移测量装置，其采用了优化设计与制造的压电悬臂梁探针、能实现多级位移控制的多级多自由度位移台、高频声波激振模块以及皮米级位移检测模块等，可实现高频振动下1皮米振幅的检测精度，为半球谐振陀螺开展低成本高精度的质量不平衡检测提供新的检测手段，检测结果可为后续利用开展半球谐振陀螺调平提供依据。

本发明授权半球谐振陀螺的多自由度微位移测量装置在权利要求书中公布了：1.一种半球谐振陀螺的多自由度微位移测量装置，其特征在于：包括压电悬臂梁探针、多级多自由度位移台、高频声波激振模块，以及皮米级位移检测模块；所述高频声波激振模块耦合于所述半球谐振陀螺，并被配置为产生与所述半球谐振陀螺的谐振子的谐振频率相同的声波信号，从而为所述谐振子提供激振信号；所述压电悬臂梁探针为薄片型，其包括由基底层和压电陶瓷层构成的复合层结构，在所述基底层具有圆锥的探针结构；在所述压电陶瓷层上形成有电极结构；所述多级多自由度位移台被配置为将所述压电悬臂梁探针定位到所述谐振子的测量位置并与所述谐振子产生接触，从而使得所述压电悬臂梁探针由于所述谐振子在谐振频率振动下产生的皮米级的微位移而产生对应所述微位移的电荷；所述皮米级位移检测模块被配置为从所述压电悬臂探针获得所述电荷并对该电荷进行处理以计算得到所述微位移；所述多级多自由度位移台包括三轴位移控制模块、视觉接触反馈模块以及传感器夹持模块；其中，所述三轴位移控制模块包括第一位移控制部分用于控制第一轴的位移、第二位移控制部分用于控制第二轴的位移、以及第三位移控制部分用于控制第三轴的位移；所述第一位移控制部分、第二位移控制部分以及第三位移控制部分中的每个都包括控制较大位移范围的第一级位移控制单元和控制较小位移范围的第二级位移控制单元；其中，采用齿轮齿条机构作为第一级位移控制单元和采用压电陶瓷促动器作为第二级位移控制单元。

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