苏州普微迪纳米科技有限公司寇恒权获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州普微迪纳米科技有限公司申请的专利一种高强韧复合涂层制备装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222908048U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421830660.8,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种高强韧复合涂层制备装置是由寇恒权设计研发完成,并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高强韧复合涂层制备装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种高强韧复合涂层制备装置,包括:磁控室、磁镜磁场组件、安装靶、磁控组件;磁控室内部设置有磁控腔,安装靶内部放置有靶材;磁控组件包括:磁控溅射源;磁控溅射源设有若干个,且均匀分布在磁控腔的内部;磁控腔的一侧连通有长腔,磁镜磁场组件安装在长腔的中部位置,安装靶安装在长腔的一端,长腔的另一端安装在相邻磁控溅射源之间的磁控腔;本实用新型利用磁控组件将基材在磁控腔内沉积成基材层,磁镜磁场组件将石墨靶汽化成离子,通过磁镜效应有效地约束和引导离子流,配合磁控组件,使得离子流沉积在磁控腔内部基材层,形成高强韧的复合涂层。
本实用新型一种高强韧复合涂层制备装置在权利要求书中公布了:1.一种高强韧复合涂层制备装置,包括:磁控室1、磁镜磁场组件、安装靶2、磁控组件;其特征在于,所述磁控室1内部设置有磁控腔3,所述安装靶2内部放置有靶材;所述磁控组件包括:磁控溅射源4;所述磁控溅射源4设有若干个,且均匀分布在所述磁控腔3的内部;所述磁控腔3的一侧连通有长腔5,所述磁镜磁场组件安装在所述长腔5的中部位置,所述安装靶2安装在所述长腔5的一端,所述长腔5的另一端安装在相邻所述磁控溅射源4之间的磁控腔3。
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