青岛思锐智能科技股份有限公司鲁喜获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛思锐智能科技股份有限公司申请的专利一种可切换加热和冷却晶圆功能的装载腔获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222914740U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421832118.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种可切换加热和冷却晶圆功能的装载腔是由鲁喜;曹京星;谢瑞康设计研发完成，并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可切换加热和冷却晶圆功能的装载腔在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种可切换加热和冷却晶圆功能的装载腔，涉及晶圆加工设备技术领域，包括腔体，所述腔体中设置有冷却腔室和预热腔室；所述冷却腔室中设置有冷却腔室支撑架和冷却机构，所述冷却腔室支撑架上设置有冷却腔室片托，所述冷却腔室支撑架连接有冷却升降机构，所述冷却升降机构驱动所述冷却腔室支撑架升降；所述预热腔室中设置有预热腔室支撑架和预热机构，所述预热腔室支撑架上设置有预热腔室片托，所述预热腔室支撑架连接有预热升降机构，所述预热升降机构驱动所述预热腔室支撑架升降。本实用新型提供的装载腔在装载的过程中完成预热或者冷却，可合理的利用镀膜过程中的等待时间，大大提升了生产效率。
本实用新型一种可切换加热和冷却晶圆功能的装载腔在权利要求书中公布了：1.一种可切换加热和冷却晶圆功能的装载腔，其特征在于，包括腔体1，所述腔体1中设置有冷却腔室2和预热腔室3；所述冷却腔室2中设置有冷却腔室支撑架4和冷却机构5，所述冷却腔室支撑架4上设置有用于放置晶圆的冷却腔室片托6，所述冷却腔室支撑架4连接有冷却升降机构7，所述冷却升降机构7驱动所述冷却腔室支撑架4升降，进而带动冷却腔室片托6靠近或远离所述冷却机构5；所述预热腔室3中设置有预热腔室支撑架8和预热机构9，所述预热腔室支撑架8上设置有用于放置晶圆的预热腔室片托10，所述预热腔室支撑架8连接有预热升降机构11，所述预热升降机构11驱动所述预热腔室支撑架8升降，进而带动预热腔室片托10靠近或远离所述预热机构9。
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