深圳天华机器设备股份有限公司黄国栋获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳天华机器设备股份有限公司申请的专利一种近阶真空蚀刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222914741U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421848293.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种近阶真空蚀刻机是由黄国栋设计研发完成，并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种近阶真空蚀刻机在说明书摘要公布了：本申请涉及一种近阶真空蚀刻机，涉及机械设备制造领域，包括机体，所述机体设置上输送滚轮和下输送滚轮以夹持并输送工件，工件两侧配置了上加压喷嘴和下加压喷嘴以喷射水流，这些喷嘴通过出水管与药水槽连接。机体上还设定了真空吸刀，其通过吸水管与同一药水槽相连，实现水循环。特别的是，上加压喷嘴或下加压喷嘴与工件板面保持30mm～60mm的最优距离，以提升蚀刻效率和效果。
本实用新型一种近阶真空蚀刻机在权利要求书中公布了：1.一种近阶真空蚀刻机，其特征在于，包括机体1，所述机体1上设有上输送滚轮2和下输送滚轮3，所述上输送滚轮2和下输送滚轮3用于夹持并运输工件，对应于所述工件两侧，所述机体1上设置有上加压喷嘴4和下加压喷嘴5，用于向工件喷射水流，所述上加压喷嘴4和所述下加压喷嘴5连接有出水管6，所述出水管6远离所述上加压喷嘴4或所述下加压喷嘴5的另一端连接有药水槽7，所述机体1上设有真空吸刀8，所述真空吸刀8连接有吸水管9，所述吸水管9远离所述真空吸刀8的另一端连接有文丘里管10，所述上加压喷嘴4或所述下加压喷嘴5与所述工件板面之间的设置距离11为30mm～60mm。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳天华机器设备股份有限公司，其通讯地址为：518118 广东省深圳市坪山区坪山街道六联社区坪山大道2007号创新广场A1003；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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