芯恩(青岛)集成电路有限公司王洋获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种晶圆碎片检测装置及晶圆清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222914738U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421815008.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆碎片检测装置及晶圆清洗设备是由王洋;铁立军;王帅;杨代垒设计研发完成，并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆碎片检测装置及晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆碎片检测装置及晶圆清洗设备，设置发射机构的第一发射器和第二发射器位于水槽的一端，接收机构位于水槽相对的另一端，第一发射器和第二发射器用于分别向接收机构发射检测晶圆碎片的激光；第一发射器和第二发射器在水平方向上的投影位于待清洗晶圆的下部区域；第一发射器和第二发射器设置在水槽的中心线相对的两侧，且均在水平方向上朝向中心线倾斜。使得两个发射器发射的激光可沿着槽位的排列方向从水槽的一端覆盖到另一端，且位于水槽一端的两条激光线之间距离较大，而随着激光线远离发射器最终被接收机构接收，两条激光线之间的距离逐渐减小，检测范围更大，还能够提高对细小碎片的检测精度，降低二次碎片发生概率。
本实用新型一种晶圆碎片检测装置及晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆碎片检测装置，应用于晶圆清洗设备，所述清洗设备包括具有多个槽位的水槽，所述槽位用于插入待清洗晶圆，其特征在于，包括发射机构和接收机构；所述发射机构包括第一发射器和第二发射器；所述第一发射器和第二发射器位于所述水槽的一端，所述接收机构位于所述水槽相对的另一端，所述第一发射器和第二发射器用于分别向所述接收机构发射检测晶圆碎片的激光；所述第一发射器和第二发射器在水平方向上的投影位于所述待清洗晶圆的下部区域；所述第一发射器和第二发射器设置在所述水槽的中心线相对的两侧，且均在水平方向上朝向所述中心线倾斜。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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