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泓浒(苏州)半导体科技有限公司沈东民获国家专利权

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龙图腾网获悉泓浒(苏州)半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆翻转装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222914779U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421783201.9,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种晶圆翻转装置是由沈东民;卢伟;吴国明设计研发完成,并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆翻转装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及翻转装置领域,尤其涉及一种晶圆翻转装置。包括基台,基台上设置有夹持臂,夹持臂成对设置,且一对夹持臂之间形成夹持晶圆的夹持面;夹持臂包括设置于端部的夹持块,一对夹持臂上相邻的夹持块在夹持臂的带动下进行开合运动,实现夹持功能;任意夹持臂上具有三个或以上的夹持块,夹持块靠近夹持面的一端设置有斜槽,相邻夹持块之间的斜槽构成V型结构,斜槽与晶圆抵接,且任意一对斜槽构成的V型结构的开口朝向夹持臂的中心点设置。本申请通过在夹持块的一端设置斜槽,使得一对夹持臂中相邻夹持块斜槽处形成V型结构,并通过该处V型结构与晶圆的棱边抵接的方式。避免了与晶圆上下表面接触,进而避免了对晶圆表面的损坏。

本实用新型一种晶圆翻转装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆翻转装置,其特征在于,包括基台(1),所述基台(1)上设置有夹持臂(4),所述夹持臂(4)成对设置,且一对夹持臂(4)之间形成夹持晶圆(6)的夹持面;所述夹持臂(4)包括设置于端部的夹持块(5),一对夹持臂(4)上相邻的夹持块(5)在夹持臂(4)的带动下进行开合运动,实现夹持功能;任意所述夹持臂(4)上具有三个或以上的夹持块(5),所述夹持块(5)靠近夹持面的一端设置有斜槽(51),相邻夹持块(5)之间的斜槽(51)构成V型结构,所述斜槽(51)与晶圆(6)抵接,且任意一对斜槽(51)构成的V型结构的开口朝向夹持臂(4)的中心点设置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人泓浒(苏州)半导体科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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