深圳市恒运昌真空技术股份有限公司乐卫平获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请的专利阻抗匹配器及等离子体产生装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222916005U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421788956.8,技术领域涉及:H03H11/28;该实用新型阻抗匹配器及等离子体产生装置是由乐卫平;林伟群;唐亚海;詹宏金设计研发完成,并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本阻抗匹配器及等离子体产生装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种阻抗匹配器及等离子体产生装置,涉及电气控制技术领域。其中,阻抗匹配器设有信号接入端与负载接入端,阻抗匹配器包括主控电路、采样电路、可调阻抗匹配装置;其中,采样电路的输入端与信号接入端、负载接入端电连接,采样电路的输出端与主控电路电连接,采样电路用于采集电信号并反馈至主控电路;可调阻抗匹配装置的输入端与信号接入端电连接,可调阻抗匹配装置的输出端与负载接入端电连接,可调阻抗匹配装置用于根据主控电路输出的控制信号调节信号源与负载间的阻抗匹配关系。本实用新型旨在提高阻抗匹配器的稳定性和精确度。
本实用新型阻抗匹配器及等离子体产生装置在权利要求书中公布了:1.一种阻抗匹配器,应用于等离子体产生装置,其特征在于,所述阻抗匹配器设有信号接入端与负载接入端,所述阻抗匹配器包括主控电路、采样电路、可调阻抗匹配装置;其中,所述采样电路的输入端与所述信号接入端、所述负载接入端电连接,所述采样电路的输出端与所述主控电路电连接,所述采样电路用于采集电信号并反馈至主控电路;所述可调阻抗匹配装置的输入端与所述信号接入端电连接,所述可调阻抗匹配装置的输出端与所述负载接入端电连接,所述可调阻抗匹配装置用于根据所述主控电路输出的控制信号调节信号源与负载间的阻抗匹配关系。
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