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苏州清越光电科技股份有限公司韦寅帆获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州清越光电科技股份有限公司申请的专利蒸镀坩埚内衬结构及蒸镀装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222908038U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421734458.5,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型蒸镀坩埚内衬结构及蒸镀装置是由韦寅帆;王勇波;李勇;孙鹏举设计研发完成,并于2024-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

蒸镀坩埚内衬结构及蒸镀装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及蒸镀技术领域,公开了一种蒸镀坩埚内衬结构及蒸镀装置,其中一种蒸镀坩埚内衬结构包括衬套,围设于蒸镀装置的加热源的周侧并具有顶部开口和底部开口,加热源位于底部开口处,且底部开口处侧壁与加热源周侧侧壁之间留有空隙。顶板,设于顶部开口并与衬套顶部抵接,顶板上设有蒸发孔,蒸发孔与加热源相对设置,在顶板朝向加热源一侧的板面上,靠近蒸发孔并与加热源相对位置的粗糙度低于顶板其他位置的粗糙度,本实用新型解决了附着于内衬的脱落物掉落入加热源造成蒸镀材料污染,影响镀膜效率和镀膜质量的问题。

本实用新型蒸镀坩埚内衬结构及蒸镀装置在权利要求书中公布了:1.一种蒸镀坩埚内衬结构,其特征在于,包括:衬套100,围设于蒸镀装置的加热源300的周侧并具有顶部开口101和底部开口102,所述加热源300位于所述底部开口102处,且所述底部开口102处侧壁与所述加热源300周侧侧壁之间留有空隙;顶板200,设于所述顶部开口101并与所述衬套100顶部抵接,所述顶板200上设有蒸发孔201,所述蒸发孔201与所述加热源300相对设置,在所述顶板200朝向所述加热源300一侧的板面上,靠近所述蒸发孔201并与所述加热源300相对位置的粗糙度低于所述顶板200其他位置的粗糙度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州清越光电科技股份有限公司,其通讯地址为:215300 江苏省苏州市昆山市高新区晨丰路188号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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