国电投核力创芯(无锡)科技有限公司王宇龙获国家专利权
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龙图腾网获悉国电投核力创芯(无锡)科技有限公司申请的专利一种带有冲压台阶的晶圆质子辐照托盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222914772U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421725344.4,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种带有冲压台阶的晶圆质子辐照托盘是由王宇龙;陈凯;朱晓桦;龚贺立;王孟涛;魏乃炜;李怡波;李明玥设计研发完成,并于2024-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带有冲压台阶的晶圆质子辐照托盘在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种带有冲压台阶的晶圆质子辐照托盘包括:托盘,以及设置在所述托盘上的多组放置位;每组放置位包括冲压在托盘上呈圆形分布的四组双层台阶;每组双层台阶分别包括:放置阶,用于放置并支撑晶圆,使晶圆与托盘具有预定距离,通过放置阶将晶圆垫起一定的高度,减少托盘表面灰尘等杂质对晶圆的影响。定位阶,高于放置阶,位于放置阶一侧,用于定位晶圆位置。本实用新型通过设计四组双层台阶组成放置位,通过放置阶将晶圆垫起一定的高度,减少托盘表面灰尘等杂质对晶圆的影响,定位阶进行定位晶圆位置,取代传统的铜螺丝定位和固定,进而避免了游离的铜元素会对晶圆产生的负面影响,托盘表面的灰尘等杂质会对晶圆造成污染等情况。
本实用新型一种带有冲压台阶的晶圆质子辐照托盘在权利要求书中公布了:1.一种带有冲压台阶的晶圆质子辐照托盘,包括:托盘(3),以及设置在所述托盘(3)上的多组放置位;其特征在于,每组放置位包括冲压在托盘(3)上呈圆形分布的四组双层台阶(1);每组双层台阶(1)分别包括:放置阶(11),用于放置并支撑晶圆(2),使晶圆(2)与托盘(3)具有预定距离;定位阶(12),高于放置阶(11),位于放置阶(11)一侧,用于定位晶圆(2)位置。
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