江苏东晨电子科技有限公司苏亮获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏东晨电子科技有限公司申请的专利大功率深沟槽晶圆用测试装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222912656U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421715906.7，技术领域涉及：G01B11/24；该实用新型大功率深沟槽晶圆用测试装置是由苏亮设计研发完成，并于2024-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本大功率深沟槽晶圆用测试装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种大功率深沟槽晶圆用测试装置，该装置包括承片平台，设置于底座上，用于承载晶圆，并能够在X轴、Y轴方向带动晶圆移动；探头夹持装置，用于夹持探头，并能够在X轴、Z轴方向带动探头移动；数控显示屏，用于接收探头的测试结果并进行展示，所述数控显示屏通过立柱与承片平台连接；所述立柱的侧壁设有横臂，且所述横臂的另一端连接探头夹持装置。本实用新型的测试装置可以实现快速定位，快速测量大功率深沟槽形貌和槽深，便于用户快速的根据测量结果来制定批量的工艺条件，确保产品批量工艺结果的稳定可控，减少流通时间和产品报废风险。
本实用新型大功率深沟槽晶圆用测试装置在权利要求书中公布了：1.一种大功率深沟槽晶圆用测试装置，其特征在于，该装置包括：承片平台（2），设置于底座（1）上，用于承载晶圆（6），并能够在X轴、Y轴方向带动晶圆（6）移动；探头夹持装置（3），用于夹持探头（5），并能够在X轴、Z轴方向带动探头（5）移动；数控显示屏（4），用于接收探头（5）的测试结果并进行展示，所述数控显示屏（4）通过立柱（23）与承片平台（2）连接；所述立柱（23）的侧壁设有横臂（24），且所述横臂（24）的另一端连接探头夹持装置（3）。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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