株洲科汇钛力新材料有限公司陈立获国家专利权
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龙图腾网获悉株洲科汇钛力新材料有限公司申请的专利一种粉体纳米材料制备工艺中溅射涂层用离子源装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222908044U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421684162.7,技术领域涉及:C23C14/34;该实用新型一种粉体纳米材料制备工艺中溅射涂层用离子源装置是由陈立设计研发完成,并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种粉体纳米材料制备工艺中溅射涂层用离子源装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于纳米金属粉体制备技术领域,公开了一种粉体纳米材料制备工艺中溅射涂层用离子源装置,包括外壳,所述外壳的内部底部安装有正极板,所述外壳的内壁一侧设置有第一气室,所述第一气室的一侧内壁安装有进气口,所述外壳的内壁相对于第一气室的一侧安装有第二气室,所述第二气室的一侧内壁安装有进氮口,所述进氮口的下方设置有第一抽气口,本实用新型设置了第一气室与弹簧,在向第一气室中通入适量的氩气时,第一气室内部的气压增大,使得弹簧一端的挡块向着弹簧方向移动,从而保证第一气室中的氩气能够稳定的进入外壳中,并且能够通过控制进气量的多少来增加氩气的利用率。
本实用新型一种粉体纳米材料制备工艺中溅射涂层用离子源装置在权利要求书中公布了:1.一种粉体纳米材料制备工艺中溅射涂层用离子源装置,其特征在于:包括外壳1,所述外壳1的内部底部安装有正极板4,所述外壳1的内壁一侧设置有第一气室2,所述第一气室2的一侧内壁安装有进气口6,所述外壳1的内壁相对于第一气室2的一侧安装有第二气室3,所述第二气室3的一侧内壁安装有进氮口10,所述进氮口10的下方设置有第一抽气口5,所述外壳1的内壁上方安装有冷却箱12,所述冷却箱12的内壁底部安装有发射电极15,所述发射电极15的底部设置有镀膜靶材11,所述冷却箱12的内壁顶部安装有进液口9。
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