上海量子科学研究中心;合肥国家实验室燕军祥获国家专利权
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龙图腾网获悉上海量子科学研究中心;合肥国家实验室申请的专利一种用于测量透明介质层底面残胶的白光干涉仪获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222913490U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421674017.0,技术领域涉及:G01N21/45;该实用新型一种用于测量透明介质层底面残胶的白光干涉仪是由燕军祥;宿非凡;邓辉;严凯;荣皓;张海斌;秦文斌设计研发完成,并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于测量透明介质层底面残胶的白光干涉仪在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于测量透明介质层底面残胶的白光干涉仪,包括:激光光源、白光光源、凸透镜一、参考镜、滤光片、光信号探测器、透镜、物镜、样品台、分光镜一、分光镜二、CCD图像传感器、凸透镜二以及电脑,凸透镜一和凸透镜二分别位于激光光源和白光光源的发射端。本实用新型在光路系统中增加一台光信号探测器,该光信号探测器可以测定接收到光的强度,当光信号探测器的光的强度达到最大值时,表明从白光干涉仪发出的光已经聚焦在透明介质底层的残胶表面,根据此时的位置信息再进行观察,可以实现对准透明介质层底面的区域成像,达到分析透明层底面残胶的作用,有助于实现测量透明介质底层的残胶。
本实用新型一种用于测量透明介质层底面残胶的白光干涉仪在权利要求书中公布了:1.一种用于测量透明介质层底面残胶的白光干涉仪,包括:激光光源1、白光光源2、凸透镜一3、参考镜4、滤光片5、光信号探测器6、透镜7、物镜8、样品台10、分光镜一12、分光镜二13、CCD图像传感器14、凸透镜二15以及电脑16,其特征在于,凸透镜一3和凸透镜二15分别位于激光光源1和白光光源2的发射端,且凸透镜一3和凸透镜二15另一侧分别设置有分光镜二13、滤光片5、分光镜一12、物镜8以及样品台10,所述分光镜一12另一侧设置有透镜7,透镜7另一侧设置有光信号探测器6,所述分光镜二13的另外两侧分别设置有参考镜4和CCD图像传感器14,所述样品台10表面放置有待测样品9,且样品台10上安装有Z方向控制装置11。
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