江苏三芯精密机械有限公司邹余耀获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏三芯精密机械有限公司申请的专利承片台及减薄机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222903628U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421659136.9，技术领域涉及：B24B41/06；该实用新型承片台及减薄机是由邹余耀;王强;张杨磊;余波;笪玲玲;王童设计研发完成，并于2024-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本承片台及减薄机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种承片台及减薄机，涉及半导体加工技术领域，所述承片台包括基座、承载组件、空气轴承以及驱动组件，所述承载组件设置于所述基座的上方，所述承载组件用以固定待加工晶片；所述空气轴承设置于所述基座上，所述空气轴承内穿设有主轴，所述主轴的上端部与所述承载组件连接；所述驱动组件用以驱动所述主轴转动。本实用新型提供的技术方案能够达到提高承片台旋转的平稳性和精密性的技术效果。
本实用新型承片台及减薄机在权利要求书中公布了：1.一种承片台，其特征在于，包括：基座；承载组件，所述承载组件设置于所述基座的上方，所述承载组件用以固定待加工晶片；空气轴承，所述空气轴承设置于所述基座上，所述空气轴承内穿设有主轴，所述主轴的上端部与所述承载组件连接；以及驱动组件，用以驱动所述主轴转动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏三芯精密机械有限公司，其通讯地址为：223001 江苏省淮安市金湖县金北工业集中区27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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