佛山家嘉电子科技有限公司陈雅阁获国家专利权
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龙图腾网获悉佛山家嘉电子科技有限公司申请的专利一种电容薄膜镀膜喷嘴板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222908037U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421635172.1，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型一种电容薄膜镀膜喷嘴板是由陈雅阁;朱啸天设计研发完成，并于2024-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电容薄膜镀膜喷嘴板在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种电容薄膜镀膜喷嘴板，包括基板，基板上开设若干喷嘴，基板底部设有两倾斜设置的导气板，两导气板之间的开口由下至上逐渐变小，两块导气板底部均设置有卡合部，用于卡设于下方坩埚的上边缘；喷嘴由下至上包括进气部、缓冲腔和出气部，其中缓冲腔的横截面积大于进气部和出气部的横截面积。本实用新型通过在基板底部设置两块倾斜的导气板，坩埚中的金属蒸气向上流动时经过两导气板之间，由于两导气板之间开口逐渐减小，金属蒸气向上汇聚的过程中通径减小，流速增大，气体流速也会较为均匀地进入上方各个喷嘴中，喷嘴中设置有横截面积较大的缓冲腔，缓冲腔内气体流速放缓，避免了蒸气流速过快影响喷镀质量，继而均匀流出基板。
本实用新型一种电容薄膜镀膜喷嘴板在权利要求书中公布了：1.一种电容薄膜镀膜喷嘴板，包括基板（1），基板（1）上开设若干喷嘴（10），其特征在于：所述基板（1）底部设有两块倾斜设置的导气板（11），两导气板（11）之间的开口由下至上逐渐变小，两块所述导气板（11）底部均设置有卡合部（110），用于卡设于下方坩埚（2）的上边缘；所述喷嘴（10）由下至上包括进气部（100）、缓冲腔（101）和出气部（102），其中所述缓冲腔（101）的横截面积大于进气部（100）和出气部（102）的横截面积。
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