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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利一种清洗单元及化学机械抛光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222903605U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421635336.0，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型一种清洗单元及化学机械抛光设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种清洗单元及化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种清洗单元及化学机械抛光设备，一种清洗单元包括风机模块，所述风机模块用于吹出洁净气体；传输模块，所述传输模块包括腔体，所述腔体包括顶壁组件、底壁、第一侧壁组件和第二侧壁，所述第一侧壁组件和所述第二侧壁相对设置，所述顶壁组件设有第一进风口，所述第一侧壁组件设有第二进风口，所述第二侧壁设有出风口，所述出风口和所述第二进风口相对设置，所述风机模块与所述第一进风口和所述第二进风口连通；清洗模块，所述清洗模块位于所述底壁的下方，所述清洗模块具有朝向所述腔体的清洗口。本申请的技术方案使得腔体内的气流稳定，不会形成乱流、涡流现象，保证腔体内环境的洁净度。

本实用新型一种清洗单元及化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种清洗单元，其特征在于，包括：风机模块，所述风机模块用于吹出洁净气体；传输模块，所述传输模块包括腔体，所述腔体包括顶壁组件、底壁、第一侧壁组件和第二侧壁，所述第一侧壁组件和所述第二侧壁相对设置，所述顶壁组件设有第一进风口，所述第一侧壁组件设有第二进风口，所述第二侧壁设有出风口，所述出风口和所述第二进风口相对设置，所述风机模块与所述第一进风口和所述第二进风口连通；清洗模块，所述清洗模块位于所述底壁的下方，所述清洗模块具有朝向所述腔体的清洗口；所述顶壁组件包括顶板和第一导风板，所述顶板和所述第一导风板之间形成第一导流通道，所述第一侧壁组件包括侧板和第二导风板，所述侧板和所述第二导风板之间形成第二导流通道，所述侧板与所述顶板连接，所述第二导风板与所述第一导风板连接，所述第一导流通道和所述第二导流通道连通，所述第二进风口设于所述第二导风板上，所述风机模块与所述第一导流通道连通；或者所述风机模块包括第一风机和第二风机，所述第一侧壁组件包括侧板和第二导风板，所述第二进风口设于所述第二导风板上，所述第二导风板分别与所述顶壁组件和所述底壁连接，所述侧板和所述第二导风板之间形成第二导流通道，所述第一风机和所述腔体连通，所述第二风机与所述第二导流通道连通。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏元夫半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区行创四路7号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。