广西华南芯半导体科技有限公司吴冠伟获国家专利权
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龙图腾网获悉广西华南芯半导体科技有限公司申请的专利一种碳化硅外延片生长炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222908160U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421617009.2，技术领域涉及：C30B29/36；该实用新型一种碳化硅外延片生长炉是由吴冠伟;吴裕朝设计研发完成，并于2024-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅外延片生长炉在说明书摘要公布了：本申请涉及碳化硅外延片生长技术领域，具体公开了一种碳化硅外延片生长炉，其包括炉体、安装杆和托盘，所述安装杆沿炉体高度方向设置于炉体内，所述托盘设置于安装杆上，所述托盘设置有多个且沿安装杆轴线方向间隔设置，所述托盘包括安装座、盘体和固定组件，所述安装座设置于安装杆上，所述盘体设置有两个且对称设置于安装座的两侧，所述盘体上开设有用于放置衬底的放置槽，所述盘体转动设置于安装座上，所述盘体的转动轴线与安装杆的轴线平行，以使两所述盘体能够合拢或张开，所述固定组件设置于两盘体之间，用于将合拢状态的两盘体固定连接。本申请可在较为紧凑的空间内设置更多的石墨托盘。
本实用新型一种碳化硅外延片生长炉在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅外延片生长炉，其特征在于：包括炉体（1）、安装杆（2）和托盘（3），所述安装杆（2）沿炉体（1）高度方向设置于炉体（1）内，所述托盘（3）设置于安装杆（2）上，所述托盘（3）设置有多个且沿安装杆（2）轴线方向间隔设置，所述托盘（3）包括安装座（31）、盘体（32）和固定组件（33），所述安装座（31）设置于安装杆（2）上，所述盘体（32）设置有两个且对称设置于安装座（31）的两侧，所述盘体（32）上开设有用于放置衬底的放置槽（321），所述盘体（32）转动设置于安装座（31）上，所述盘体（32）的转动轴线与安装杆（2）的轴线平行，以使两所述盘体（32）能够合拢或张开，所述固定组件（33）设置于两盘体（32）之间，用于将合拢状态的两盘体（32）固定连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广西华南芯半导体科技有限公司，其通讯地址为：530000 广西壮族自治区南宁市中国(广西)自由贸易试验区南宁片区凯旋路13号五象新区总部基地休闲公园1号楼109-1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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