上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司范鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利一种排气管路及工艺腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222908057U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421610442.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种排气管路及工艺腔室是由范鹏设计研发完成，并于2024-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种排气管路及工艺腔室在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种排气管路及工艺腔室，包括：排气口，设于工艺腔室的一侧侧壁上，所述排气口包括分别位于所述侧壁的内表面和外表面的排气内口和排气外口，在水平投影方向上，所述排气口具有自所述排气内口向所述排气外口逐渐收缩的第一排气口径。本实用新型能够增强对温度控制的精准性，提升沉积膜厚的均匀性。
本实用新型一种排气管路及工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种排气管路，其特征在于，包括：排气口，设于工艺腔室的一侧侧壁上，所述排气口包括分别位于所述侧壁的内表面和外表面的排气内口和排气外口，在水平投影方向上，所述排气口具有自所述排气内口向所述排气外口逐渐收缩的第一排气口径。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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