唐山万士和电子有限公司常丽敏获国家专利权
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龙图腾网获悉唐山万士和电子有限公司申请的专利一种基片研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222903604U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421586604.4,技术领域涉及:B24B37/34;该实用新型一种基片研磨装置是由常丽敏;荆学顺;袁庆祝;陈杰;陈皓然;蔡满仓设计研发完成,并于2024-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基片研磨装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及基片研磨技术领域,提出了一种基片研磨装置,用于对基片的上表面和下表面同时研磨,包括:工作台;第一研磨台,设置于工作台上;研磨布,设置于第一研磨台上,研磨布用于研磨基片的下表面,研磨布具有凹槽,凹槽用于排出磨削液和残渣;按压件,设置于工作台上,按压件具有按压端;第二研磨台,转动设置于工作台上,第二研磨台具有研磨面,研磨面用于研磨基片的上表面;按压端抵接于第二研磨台顶面,按压件用于驱动第二研磨台压紧基片。通过上述技术方案,解决了相关技术中的研磨机存在不能及时排出磨削液和磨削残渣,继续研磨时损坏基片表面的问题。
本实用新型一种基片研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种基片研磨装置,用于对基片的上表面和下表面同时研磨,其特征在于,包括:工作台1;第一研磨台2,设置于所述工作台1上;研磨布12,设置于所述第一研磨台2上,所述研磨布12用于研磨所述基片的下表面,所述研磨布12具有凹槽1201,所述凹槽1201用于排出磨削液和残渣;第二研磨台11,转动设置于所述工作台1上,所述第二研磨台11具有研磨面,所述研磨面用于研磨所述基片的上表面,所述研磨布12和所述第二研磨台11之间形成放置区10;中心轴3,转动设置于所述工作台1上,所述中心轴3贯穿所述第一研磨台2并相对所述第一研磨台2转动;所述第二研磨台11中部具有通孔1110,所述中心轴3滑动贯穿所述通孔1110;安装板9,呈圆盘形,所述安装板9具有若干个,若干个所述安装板9以所述中心轴3为中心呈环形间隔设置于所述放置区10内,所述安装板9具有放置槽902,所述基片设置于所述放置槽902内;打磨盘13,具有若干个,若干个所述打磨盘13间隔设置于所述放置区10内,所述打磨盘13用于对所述研磨面和所述研磨布进行打磨修整;更换组件14,滑动设置于所述工作台1一侧,所述更换组件14用于取出所述安装板9并放入所述打磨盘13。
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