成都中科卓尔智能科技集团有限公司刘沧浪获国家专利权
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龙图腾网获悉成都中科卓尔智能科技集团有限公司申请的专利磁控溅射镀膜工装及移动装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222908046U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421567101.2,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型磁控溅射镀膜工装及移动装置是由刘沧浪;彭宏;张小林;万敏设计研发完成,并于2024-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁控溅射镀膜工装及移动装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于镀膜领域,具体涉及磁控溅射镀膜工装及移动装置。包括容纳部件,所述容纳部件构造有约束槽,所述约束槽内部用于容纳并承托基片,且基片位于约束槽内部时,基片呈斜向上倾斜状态。本实用新型提供磁控溅射镀膜工装及移动装置,其目的在于解决现有技术中立式工装存在遮挡基片边缘,导致基片无法存在满镀的问题。
本实用新型磁控溅射镀膜工装及移动装置在权利要求书中公布了:1.磁控溅射镀膜工装,其特征在于:包括容纳部件,所述容纳部件构造有约束槽,所述约束槽为矩形槽,所述约束槽内部用于容纳并承托基片,且基片位于约束槽内部时,基片呈斜向上倾斜状态。
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