成都中科卓尔智能科技集团有限公司刘沧浪获国家专利权
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龙图腾网获悉成都中科卓尔智能科技集团有限公司申请的专利磁控溅射镀膜产线获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222908047U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421567504.7,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型磁控溅射镀膜产线是由刘沧浪;彭宏;张小林;万敏设计研发完成,并于2024-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁控溅射镀膜产线在说明书摘要公布了:本实用新型属于镀膜领域,具体涉及磁控溅射镀膜产线。包括镀膜舱、进料舱和出料舱,所述进料舱与出料舱分别设置于所述镀膜舱的入口和出口,且所述进料舱与出料舱都与所述镀膜舱连通;所述镀膜舱、进料舱和出料舱都配置有抽真空组件,且所述进料舱与出料舱与所述镀膜舱的连通处配置有封闭机构。本实用新型提供磁控溅射镀膜产线,其目的在于解决连续磁控溅射镀膜时,效率较低的问题。
本实用新型磁控溅射镀膜产线在权利要求书中公布了:1.磁控溅射镀膜产线,其特征在于:包括镀膜舱、进料舱和出料舱,所述进料舱与出料舱分别设置于所述镀膜舱的入口和出口,且所述进料舱与出料舱都与所述镀膜舱连通;所述镀膜舱、进料舱和出料舱都配置有抽真空组件,且所述进料舱与出料舱与所述镀膜舱的连通处配置有封闭机构。
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