江苏迈纳德微纳技术有限公司左雪芹获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉江苏迈纳德微纳技术有限公司申请的专利一种集成四探针测试仪的实验型原子层沉积腔体及设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222908056U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421555426.9，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种集成四探针测试仪的实验型原子层沉积腔体及设备是由左雪芹;武晓瑞;陆雪强设计研发完成，并于2024-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成四探针测试仪的实验型原子层沉积腔体及设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种集成四探针测试仪的实验型原子层沉积腔体及设备，属于薄膜沉积技术领域。该集成四探针测试仪的实验型原子层沉积腔体通过设置一个空腔，将四探针设置在该空腔内，并对应设置升降机构和插板阀，使得在沉积过程中可实现对沉积薄膜的原位检测，避免了沉积过程反复进行进取样的繁杂操作过程，而且由于保证了检测环境中不含有可能导致沉积薄膜氧化的物质，可以保证四探针的检测结果为沉积薄膜的准确结果。另外，通过水冷装置的设置，保证了四探针进行检测时尽量不受到温度的影响，一定程度上也保证了检测结果的准确性。
本实用新型一种集成四探针测试仪的实验型原子层沉积腔体及设备在权利要求书中公布了：1.一种集成四探针测试仪的实验型原子层沉积腔体，其特征在于，所述集成四探针测试仪的实验型原子层沉积腔体包括：真空腔体底座1、腔体盖2、四探针13、空腔12和升降机构5；其中，空腔12位于真空腔体底座1上方，空腔12与真空腔体底座1中间设置有腔体盖2，四探针13置于空腔12内，真空腔体底座1内部设置有沉积腔17。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏迈纳德微纳技术有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道228号天安智慧城3-104；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号