广东科隆威智能装备股份有限公司陈春芙获国家专利权
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龙图腾网获悉广东科隆威智能装备股份有限公司申请的专利一种硅片夹持机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222916525U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421519985.4,技术领域涉及:H10F71/00;该实用新型一种硅片夹持机构是由陈春芙;苏金财设计研发完成,并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片夹持机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种硅片夹持机构,包括定位底座、伺服电机、连杆和释放夹,伺服电机的驱动端竖直向上连接有转动环,连杆的一端与转动环铰接,连杆的另外一端与释放夹的内侧铰接,定位底座的周边固定有滑动支板,滑动支板上设置有弧形槽,释放夹上安装有活动轴,活动轴的端部滑动在弧形槽内,释放夹上安装有夹持转轮。该硅片夹持机构用于对硅片的位置进行居中处理,为后续探针接通和激光诱导钝化作出充分的准备,提高钝化的精准度,有效降低不良品的产生。
本实用新型一种硅片夹持机构在权利要求书中公布了:1.一种硅片夹持机构,其特征在于,包括定位底座、伺服电机、连杆和释放夹,所述伺服电机的驱动端竖直向上连接有转动环,所述连杆的一端与所述转动环铰接,所述连杆的另外一端与所述释放夹的内侧铰接,所述定位底座的周边固定有滑动支板,所述滑动支板上设置有弧形槽,所述释放夹上安装有活动轴,所述活动轴的端部滑动在所述弧形槽内,所述释放夹上安装有夹持转轮。
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