深圳市恒运昌真空技术股份有限公司杨靖获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请的专利壳体组件、等离子体产生装置及等离子体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222914726U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421483470.3，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型壳体组件、等离子体产生装置及等离子体加工设备是由杨靖;刘涛;乐卫平;宋成;张文杰;谢幸光设计研发完成，并于2024-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本壳体组件、等离子体产生装置及等离子体加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种壳体组件、等离子体产生装置和等离子体加工设备，涉及等离子体加工技术领域，其中，壳体组件应用于等离子体产生装置，等离子体产生装置包括壳体组件、扩散组件和电离组件，电离组件包括电极组件，电极组件用于对工艺气体进行电离生成等离子体，扩散组件用于将电离前和或后的工艺气体进行扩散，壳体组件包括第一壳体和第二壳体，第一壳体内形成有第一通道，第二壳体内形成有第二通道，第一壳体与第二壳体可拆卸连接，使第一通道与第二通道连通形成气流通道，电离组件和扩散组件安装于第一壳体和第二壳体，两个壳体能够快速拆装以便对内的部件进行维修或更换，形成模块化结构，降低等离子体产生装置的拆装难度。
本实用新型壳体组件、等离子体产生装置及等离子体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种壳体组件，应用于等离子体产生装置，其特征在于，所述等离子体产生装置包括用于对工艺气体进行扩散的扩散组件和用于对工艺气体进行电离以生成等离子体的电离组件，所述电离组件包括电极组件，所述壳体组件包括：第一壳体，所述第一壳体形成有第一通道；第二壳体，所述第二壳体形成有第二通道，所述第一壳体与所述第二壳体可拆卸连接，所述第一通道与所述第二通道连通形成气流通道；所述第一壳体和所述第二壳体用于供所述扩散组件和电极组件安装，所述气流通道用于供所述扩散组件和电极组件处理的工艺气体流通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市恒运昌真空技术股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101,201,301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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