香港科技大学(广州)曾祥军获国家专利权
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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利适用于LPCVD设备的全自动上下料系统和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118665985B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410832976.9,技术领域涉及:B65G47/90;该发明授权适用于LPCVD设备的全自动上下料系统和方法是由曾祥军;熊威;徐巍设计研发完成,并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本适用于LPCVD设备的全自动上下料系统和方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种适用于LPCVD设备的全自动上下料系统和方法。全自动上下料系统包括机器人活动区和和独立于机器人活动区之外的操作区,其中具有LPCVD设备和与LPCVD设备邻接的LPCVD上下料区、复合机器人和上料台,其中,复合机器人,配置为在机器人活动区移动,复合机器人包括装载有花篮的随行工装、适于延伸的机械臂以及位于机械臂端部的夹持装置;上料台包括一个或多个样片仓,每个样片仓适于存放待处理花篮或已处理花篮,且复合机器人适于响应于上下料指令,通过夹持装置将待处理花篮自样片仓转移至复合机器人的随行工装内、或将已处理花篮自随行工装转移至样片仓。本申请可以全自动执行花篮的取放操作,提高LPCVD设备的上下料效率和上下料安全性。
本发明授权适用于LPCVD设备的全自动上下料系统和方法在权利要求书中公布了:1.一种适用于LPCVD设备的全自动上下料系统,其特征在于,包括:机器人活动区和和独立于所述机器人活动区之外的操作区,其中,所述全自动上下料系统包括:LPCVD设备和与所述LPCVD设备邻接的LPCVD上下料区,所述LPCVD设备至少与所述机器人活动区邻接,所述LPCVD上下料区至少与所述操作区邻接;复合机器人,配置为在所述机器人活动区移动,所述复合机器人包括装载有花篮的随行工装、适于延伸的机械臂以及位于所述机械臂端部的夹持装置;其中,所述花篮包括待处理花篮和已处理花篮,所述待处理花篮适于放置待所述LPCVD设备处理的待处理样片,所述已处理花篮适于放置经所述LPCVD设备处理的已处理样片;所述复合机器人适于通过所述夹持装置夹取所述待处理花篮或所述已处理花篮,并通过所述机械臂将所述待处理花篮自所述随行工装转移至所述LPCVD设备、或将所述已处理花篮自所述LPCVD设备转移至所述随行工装;所述夹持装置包括温度传感器,所述温度传感器配置为感应待夹持的所述花篮的花篮温度,且所述夹持装置配置为当所述花篮温度低于高温阈值后再执行夹取和转移的操作;以及至少一个上料台,布置在所述操作区中,所述上料台包括一个或多个样片仓,每个所述样片仓适于存放所述待处理花篮或所述已处理花篮,且所述复合机器人适于响应于上下料指令,通过所述夹持装置将所述待处理花篮自所述样片仓转移至所述复合机器人的所述随行工装内、或将所述已处理花篮自所述随行工装转移至所述样片仓。
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