昆山日月同芯半导体有限公司田野获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山日月同芯半导体有限公司申请的专利一种花篮组件及湿制程钛钨蚀刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222914748U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421421899.X，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种花篮组件及湿制程钛钨蚀刻机是由田野;张雷;简永辛设计研发完成，并于2024-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种花篮组件及湿制程钛钨蚀刻机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及蚀刻机设备技术领域，具体为一种花篮组件及湿制程钛钨蚀刻机，包括：花篮主体上表面开设有若干限位槽，花篮主体内侧面开设有若干滑槽，花篮主体侧面设置有若干固定块；上盖板侧面设置有若干固定板；有益效果为：拉动拉手使移动板以及压板沿着滑槽移动，再将晶圆盒放置在花篮主体内的压板与隔板之间，放开拉手，推力弹簧放松推动移动板沿着滑槽滑动，压板压向晶圆盒侧面，将晶圆盒固定在花篮主体内，且压板采用柔性材质制成具有一定的弹性，对晶圆盒侧面弹性支撑，以上所述结构相互配合可以避免晶圆盒在移动过程中与花篮主体内壁碰撞进而导致晶圆盒内的晶圆相互碰撞进而导致晶圆破裂，提高花篮组件的可靠性，实用性高。
本实用新型一种花篮组件及湿制程钛钨蚀刻机在权利要求书中公布了：1.一种花篮组件，其特征在于：所述花篮组件包括：花篮主体1，花篮主体1上表面开设有若干限位槽3，花篮主体1内侧面开设有若干滑槽5，花篮主体1侧面设置有若干固定块4；上盖板2，上盖板2侧面设置有若干固定板7；滑槽5呈“凸”型槽状结构，移动板12侧面固定连接的凸块设置在滑槽5内，移动板12可以沿着滑槽5移动，移动板12一侧固定连接有压板16，移动板12另一侧固定连接有若干连接杆13。
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