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龙图腾网获悉联合微电子中心有限责任公司申请的专利纳米压印方法及纳米压印模具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118605080B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410790770.4，技术领域涉及：G03F7/00；该发明授权纳米压印方法及纳米压印模具是由赵建国;陈妍如设计研发完成，并于2024-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本纳米压印方法及纳米压印模具在说明书摘要公布了：本发明提供一种纳米压印方法，包括将工作模具和形成有压印胶层的基板置于密封腔室中，向密封腔室中引入工作气体以置换环境气体，所引入的工作气体相对于原有的环境气体在压印胶层中具有更大的溶解度；随后，使工作模具以其微纳结构与压印胶层贴合的状态下，向工作模具和基板中的至少一者施加压力，致使压印胶层发生形变而填充微纳结构之间的孔隙，将微纳结构转印到压印胶层中。本发明利用置换气氛组成的方式，使压印胶层压入工作模具中所捕获的气体能够在工作模具的孔隙填充过程中被溶解，极大程度地减小产生气泡的概率，抑制气泡所引起的图形缺失，提高了图形加工精度，提升产品良率，不会明显增加压印过程的成本和时间。

本发明授权纳米压印方法及纳米压印模具在权利要求书中公布了：1.一种纳米压印方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一基板，于所述基板上形成压印胶层，所述压印胶层包括光致抗蚀剂层；将工作模具和形成有压印胶层的所述基板置于密封腔室中，所述工作模具包括具有微纳结构的图案转移层，向所述密封腔室中引入工作气体以置换原有的环境气体，所引入的工作气体在所述压印胶层中的溶解度大于所述环境气体在所述压印胶层和所述工作模具中的溶解度；使所述工作模具以其微纳结构与所述压印胶层贴合的状态下，向所述工作模具和所述基板中的至少一者施加压力，于置换后的密封腔室内致使所述压印胶层发生形变而填充所述微纳结构之间的孔隙，将所述图案转移层中的微纳结构转印到所述压印胶层中，同时捕获所述孔隙内的工作气体而形成气泡，所述工作气体经选择以使所述微纳结构之间孔隙的填充过程中所形成的气泡的临界尺寸lc′大于所述工作模具上微纳结构的特征尺寸，并且使所述压印胶层中所形成的气泡具有小于临界尺寸lc′的外形尺寸而被溶解，并且临界尺寸lc′由如下式表示： 其中，Ca是标准大气压下工作气体的溶解度，Pa是标准大气压强，σ是工作气体在压印胶中的溶解度，Pw是工作环境中的气体压强；维持含有工作气体的气氛条件下，使转印后的压印胶层固化，形成与所述微纳结构互补的移印图案；使所述工作模具从所述移印图案脱模。

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