买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉山东贝迪思真空科技有限公司申请的专利一种半导体材料用真空镀膜机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118703953B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410761187.0，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种半导体材料用真空镀膜机是由宋永宾;王鹏;宋欣怡设计研发完成，并于2024-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体材料用真空镀膜机在说明书摘要公布了：本申请涉及真空镀膜设备技术领域，公开了一种半导体材料用真空镀膜机，包括传送组件，所述传送组件包括转动体和圆柱形的连接腔，所述连接腔包括有至少两组连接口，其中一组连接口与溅射腔连通，一组连接口连通外部，所述连接腔的侧壁设有至少两组收纳腔。本发明具备半导体材料用真空镀膜机，在外部更换基片，在进入传送组件时抽真空，更换基片、镀膜同时、连续地进行，提高镀膜效率。其次，由于不用真空机械手和提前储存基片，设备体积和成本均得到降低。还有在镀膜时始终不会破坏真空环境，镀膜过程中，真空度和惰性气体含量始终保持一致，保证膜质量的一致性。

本发明授权一种半导体材料用真空镀膜机在权利要求书中公布了：1.一种半导体材料用真空镀膜机，包括传送组件（1）和溅射腔（2），所述溅射腔（2）包括腔体（21），所述腔体（21）内设有多组带有靶基距调节装置的溅射靶组件（22），其特征在于：所述传送组件（1）包括转动体（11）和圆柱形的连接腔（13），所述连接腔（13）包括有至少两组连接口（131），其中一组连接口（131）与溅射腔（2）连通，一组连接口（131）连通外部；所述转动体（11）的侧壁设有至少两组收纳腔（111），转动体（11）连接有驱动结构，能够自行转动，所述收纳腔（111）内铰接有传送板（112），所述传送板（112）与收纳腔（111）之间设有伸缩杆（113），传送板（112）上设有固定基片的夹具或吸盘；所述转动体（11）和连接腔（13）之间设有密封填料（12），密封填料（12）随着转动体（11）转动，密封填料（12）能够密封收纳腔（111）的四周；所述连接腔（13）的端部设有抽气口（117），所述抽气口（117）设在两个连接口（131）之间，并位于与外部连通的连接口（131）的下游，所述收纳腔（111）与抽气口（117）对应的端部设有排气口（115），所述排气口（115）连接有调整阀（116），调整阀（116）设于连接腔（13）和转动体（11）之间，所述抽气口（117）与真空设备连通，当调整阀（116）与抽气口（117）对齐时排气；还包括清洗腔（3），所述连接口（131）设有三组，收纳腔（111）设有三组或四组，所述溅射腔（2）和清洗腔（3）相对，清洗腔（3）与真空设备连通，所述抽气口（117）设有两组，两组抽气口（117）分别在收纳腔（111）由与外部连通的连接口（131）向与清洗腔（3）连通的连接口（131）转动时、和由与清洗腔（3）连通的连接口（131）向与溅射腔（2）连通的连接口（131）转动时与收纳腔（111）连通。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人山东贝迪思真空科技有限公司，其通讯地址为：274000 山东省菏泽市高新区马岭岗工业园；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。