山东强茂电子科技有限公司方廷宇获国家专利权
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龙图腾网获悉山东强茂电子科技有限公司申请的专利一种晶圆点测机用自动载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222913698U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421157521.3，技术领域涉及：G01R1/04；该实用新型一种晶圆点测机用自动载台是由方廷宇;游礼仲;王永震;宋汝明;苏方召设计研发完成，并于2024-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆点测机用自动载台在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆点测机自动载台技术领域，尤其是一种晶圆点测机用自动载台，包括静电卡盘，所述静电卡盘的底部设有加热设备，所述静电卡盘的顶部开设有多个长度不同的安装槽，所述安装槽的内部均设有温度传感器，所述温度传感器的检测端与静电卡盘的顶部处于同一水平面，所述温度传感器通过导线连接有PLC控制器，所述静电卡盘的上方设有对称排列的红外发射器和红外接收器，所述红外发射器和红外接收器均通过导线与PLC控制器连接。本方案通过在点测机的静电卡盘上设置多个温度传感器，无需将温度传感器和晶圆分离即可方便对晶圆进行测试操作，提升了操作的便捷性。
本实用新型一种晶圆点测机用自动载台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆点测机用自动载台，包括静电卡盘（9），其特征在于，所述静电卡盘（9）的底部设有加热设备，所述静电卡盘（9）的顶部开设有多个长度不同的安装槽（5），所述安装槽（5）的内部均设有温度传感器（13），所述温度传感器（13）的检测端与静电卡盘（9）的顶部处于同一水平面，所述温度传感器（13）通过导线连接有PLC控制器（3），所述静电卡盘（9）的上方设有对称排列的红外发射器（7）和红外接收器（12），所述红外发射器（7）和红外接收器（12）均通过导线与PLC控制器（3）连接。
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