富时精工(南京)有限公司戴亚峰获国家专利权
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龙图腾网获悉富时精工(南京)有限公司申请的专利一种多工位镀膜机的磁控溅射阴极靶获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222908045U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420774712.8,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种多工位镀膜机的磁控溅射阴极靶是由戴亚峰;孙长江;王超设计研发完成,并于2024-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多工位镀膜机的磁控溅射阴极靶在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种多工位镀膜机的磁控溅射阴极靶,包括呈环柱状的靶材及环状包覆于靶材外侧的导磁套,导磁套上设置:磁性件,其呈环状,且磁性件设置于导磁套的安装环部上以与靶材同轴布置;导磁环,其轴向滑动套设于导磁套上,且导磁环位于安装环部之间,安装环部上均开设有嵌合槽,导磁环两端分别设置有嵌合部。该实用新型提供的多工位镀膜机的磁控溅射阴极靶,利用导磁环轴向滑动使得嵌合部嵌合于嵌合槽内以使导磁环通过磁力感应形成感应磁极,靶材的中部能通过控制导磁环以形成不同位置的感应磁极,提高磁场形成均匀性,从而缓解靶材两端对磁性件对齐处的消耗速率,进一步提高靶材的利用率和溅射电子的沉积速率。
本实用新型一种多工位镀膜机的磁控溅射阴极靶在权利要求书中公布了:1.一种多工位镀膜机的磁控溅射阴极靶,其特征在于,包括呈环柱状的靶材1及环状包覆于靶材1外侧的导磁套2,所述导磁套2上设置:磁性件3,其呈环状,且磁性件3设置于导磁套2的安装环部21上以与靶材1同轴布置;导磁环4,其轴向滑动套设于导磁套2上,且导磁环4位于安装环部21之间,所述安装环部21上均开设有嵌合槽22,所述导磁环4两端分别设置有嵌合部41,所述导磁环4受驱轴向滑动使得任一嵌合部41嵌合于嵌合槽22内,且导磁环4的另一嵌合部41位于安装环部21之间形成感应磁极。
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