深圳大学杨高获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳大学申请的专利堆叠式热压方法及堆叠式热压装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117923767B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311786209.0,技术领域涉及:C03B23/02;该发明授权堆叠式热压方法及堆叠式热压装置是由杨高;龚峰设计研发完成,并于2023-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本堆叠式热压方法及堆叠式热压装置在说明书摘要公布了:本发明属于玻璃热压技术领域,尤其涉及堆叠式热压方法及堆叠式热压装置。堆叠式热压方法包括如下步骤:加热,将下模座放置于加热结构上,多个模板沿竖直方向依次叠设置,且任意相邻的两模板之间均设置有玻璃晶圆;加热结构在真空环境中或惰性气体环境中,加热各玻璃晶圆至预定温度;热压,使用驱动结构使上模头朝下模座压紧各模板,以使各玻璃晶圆复制微纳结构;冷却,以预定的冷却速率冷却各玻璃晶圆的温度;脱模,取出热压成形的各玻璃晶圆。本发明能够提高玻璃晶圆的热压效率。
本发明授权堆叠式热压方法及堆叠式热压装置在权利要求书中公布了:1.一种堆叠式热压方法,用于对玻璃晶圆进行热压成型,其特征在于,所述堆叠式热压方法包括如下步骤:准备下模座、位于下模座上方的上模头以及开设有微纳结构并位于所述下模座的模板;加热,将所述下模座放置于加热结构上,多个所述模板沿竖直方向依次叠设置,且任意相邻的两所述模板之间均设置有玻璃晶圆;所述加热结构在真空环境中或惰性气体环境中,加热各所述玻璃晶圆至预定温度,所述预定温度为所述玻璃晶圆的玻璃转变温度,并进行保温,以使各所述玻璃晶圆的温度均匀;热压,使用驱动结构使所述上模头朝所述下模座压紧各所述模板,以使各所述玻璃晶圆复制所述微纳结构,所述微纳结构是开设于所述模板上的凹腔,所述凹腔阵列设置多个;各所述模板上的所述微纳结构的尺寸从下往上依次缩小;所述微纳结构位于所述模板朝上设置的表面;所述驱动结构包括施力组件和位于所述施力组件下方并连接所述加热结构的升降台,所述施力组件包括沿竖直方向滑动设置并连接所述上模头的第一级重力单元和沿竖直方向滑动设置并位于所述第一级重力单元上方的第二级重力单元;所述热压步骤包括如下步骤:S21:所述升降台驱动所述下模座朝上移动第一距离,上模头抵接所述第一级重力单元,以使所述第一级重力单元加载于所述上模头;S22:所述升降台驱动所述下模座继续朝上移动第二距离,以使所述第一级重力单元和第二级重力单元均加载于所述上模头,提高所述加热结构的功率,以补充热量的流失;冷却,以预定的冷却速率冷却各所述玻璃晶圆的温度;脱模,取出热压成形的各所述玻璃晶圆。
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