苏州智程半导体科技股份有限公司华斌获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州智程半导体科技股份有限公司申请的专利一种双层膜丝气液混合装置及双层膜丝制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116712879B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310885086.X，技术领域涉及：B01F23/23；该发明授权一种双层膜丝气液混合装置及双层膜丝制备方法是由华斌;孙先淼;周训丙设计研发完成，并于2023-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双层膜丝气液混合装置及双层膜丝制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种双层膜丝气液混合装置及双层膜丝制备方法，其中，双层膜丝气液混合装置包括壳体，壳体长度方向两端开设进液孔和出液孔，壳体侧壁开设进气孔，壳体连接渗透效率不同的第一渗透膜和第二渗透膜，第二渗透膜呈管状设置且两端分别与进液孔和出液孔连通，纯水由进液孔进入壳体后流入第二渗透膜内，二氧化碳由进气孔进入壳体后依次透过第一渗透膜和第二渗透膜溶入第二渗透膜内的纯水中，气液混合完成的碳酸水通过第二渗透膜和出液孔由壳体内排出。本发明用以解决现有技术中二氧化碳溶入纯水的速率过快而超出期望溶入速率的问题，以及碳酸水的电导率分布不均匀，难以满足后端半导体设备清洗晶圆对碳酸水电导率的要求。
本发明授权一种双层膜丝气液混合装置及双层膜丝制备方法在权利要求书中公布了：1.一种双层膜丝气液混合装置，其特征在于，包括：壳体，所述壳体长度方向两端开设进液孔和出液孔，所述壳体侧壁开设进气孔，所述壳体连接渗透效率不同的第一渗透膜和第二渗透膜，所述第二渗透膜呈管状设置且两端分别与进液孔和出液孔连通，纯水由所述进液孔进入壳体后流入所述第二渗透膜内，二氧化碳由所述进气孔进入壳体后依次透过第一渗透膜和第二渗透膜溶入第二渗透膜内的纯水中，气液混合完成的碳酸水通过第二渗透膜和出液孔由所述壳体内排出。
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