宁波杭州湾新材料研究院;中国科学院宁波材料技术与工程研究所江南获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波杭州湾新材料研究院;中国科学院宁波材料技术与工程研究所申请的专利图形化金刚石的制备方法和具有图形化金刚石的制品及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116288244B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310213953.5,技术领域涉及:C23C16/27;该发明授权图形化金刚石的制备方法和具有图形化金刚石的制品及其应用是由江南;鲁云祥;王博;褚伍波;杨国永设计研发完成,并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本图形化金刚石的制备方法和具有图形化金刚石的制品及其应用在说明书摘要公布了:本申请涉及金刚石材料制备领域,提供一种图形化金刚石的制备方法和具有图形化金刚石的制品及其应用。所述图形化金刚石的制备方法包括:在生长基片的表面设置绝缘基片,所述绝缘基片具有图形区,所述表面包括通过所述图形区暴露的暴露区,所述暴露区与所述图形区共同构成金刚石的生长区;对所述生长基片进行化学气相沉积,并施加偏压电场,以在所述生长区内生成金刚石,形成图形化金刚石。本申请的方法可制备出高纵横比的图形化金刚石。
本发明授权图形化金刚石的制备方法和具有图形化金刚石的制品及其应用在权利要求书中公布了:1.一种图形化金刚石的制备方法,其特征在于,包括:在生长基片的表面设置绝缘基片,所述绝缘基片具有图形区,所述表面包括通过所述图形区暴露的暴露区,所述暴露区与所述图形区共同构成金刚石的生长区;对所述生长基片进行化学气相沉积,并施加偏压电场,以在所述生长区内生成金刚石,形成所述图形化金刚石;所述绝缘基片的厚度为20μm-500μm,所述绝缘基片的纵横比为80-300:1;所述纵横比为所述绝缘基片的厚度与所述图形区中最窄缝隙宽度的比;所述施加偏压电场的条件包括:电源电压为50V-300V,施加时间为50小时-400小时;在所述生长基片的表面设置所述绝缘基片之前,还包括对所述生长基片进行预处理的步骤,经所述预处理的所述基片表面的粗糙度Ra为1μm-10μm;所述化学气相沉积为热丝化学气相沉积,其中,发热丝为钽丝或钨丝,发热丝数量为3根-6根,单丝功率为900W-1.5kW;在生成金刚石的过程中,所述热丝化学气相沉积的条件包括:生长气氛包括氢气、甲烷和惰性气体,氢气的流量为200sccm-500sccm,甲烷的流量为氢气流量的3%-10%,惰性气体的流量为氢气流量的8%-30%,生长气压为2.5kPa-4.5kPa;所述预处理包括如下步骤:将所述生长基片用纳米金刚石粉研磨;将研磨后的生长基片置入纳米金刚石粉的分散液中进行超声处理。
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