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深圳天成真空技术有限公司陈春奇获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳天成真空技术有限公司申请的专利一种卷绕式真空镀膜设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116219389B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310078548.7,技术领域涉及:C23C14/56;该发明授权一种卷绕式真空镀膜设备是由陈春奇设计研发完成,并于2023-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。

一种卷绕式真空镀膜设备在说明书摘要公布了:本发明提供了一种卷绕式真空镀膜设备,其包括放料室、收料室、镀膜室、注液室、控制部和固定板,注液室包括注液壳、泄压螺栓、压板、隔离板和密封塞,隔离板和压板相配合将注液室的内腔分为隔离腔、注液腔和按压腔,泄压螺栓安装在按压腔的侧壁,注液腔和隔离腔之间设有注液孔,密封塞将注液孔进行密封。当靶材池内的靶材存量不足时,注液腔和隔离腔内储满液体靶材,通过调整连接按压腔的泄压螺栓,使按压腔内的压力增大,压板将注液腔和隔离腔内的液体靶材挤压至靶材池内。当靶材池储存的液体靶材满足预设要求,泄压螺栓停止泄压,同时,第二真空机对按压腔进行抽真空。有效避免了停止设备运行后注入靶材再抽真空,影响工作效率的问题。

本发明授权一种卷绕式真空镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种卷绕式真空镀膜设备,其特征在于:包括放料室、收料室、镀膜室、注液室、控制部和固定板,所述放料室与所述镀膜室一端连接,所述收料室与所述镀膜室另一端连接,所述镀膜室和所述控制部分别与所述固定板连接,所述控制部置于所述镀膜室正面,且所述控制部与所述镀膜室连接,所述注液室置于所述收料室底部,所述注液室的顶部和侧面分别连接所述收料室和所述镀膜室;所述注液室包括注液壳、泄压螺栓、压板、隔离板和密封塞,所述隔离板和所述压板相配合将所述注液室的内腔分为隔离腔、注液腔和按压腔,所述隔离腔置于所述注液腔和所述按压腔一侧,且所述按压腔置于所述注液腔顶部,所述泄压螺栓安装在所述按压腔的侧壁,所述注液腔和所述隔离腔之间设有注液孔,所述密封塞将所述注液孔进行密封。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳天成真空技术有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市宝安区松岗街道潭头西部工业园区B35栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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