恭喜ASML荷兰有限公司邵屹峰获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利确定由带电粒子束工具获取的图像中的像差的方法、确定带电粒子束工具的设置的方法和带电粒子束工具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114631164B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080073990.5，技术领域涉及：H01J37/153；该发明授权确定由带电粒子束工具获取的图像中的像差的方法、确定带电粒子束工具的设置的方法和带电粒子束工具是由邵屹峰;M·R·古森设计研发完成，并于2020-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本确定由带电粒子束工具获取的图像中的像差的方法、确定带电粒子束工具的设置的方法和带电粒子束工具在说明书摘要公布了：确定由带电粒子束工具获取的图像中的像差的方法包括以下步骤：a获取样品的两个或更多个图像，其中每个图像以在带电粒子束工具的测量条件中的已知相对差获取；b针对表示由带电粒子束工具使用的带电粒子束的探测轮廓的像差，选择所估计的像差参数；c评估误差函数，误差函数指示两个或更多个图像与所估计的两个或更多个图像之间的差，所估计的两个或更多个图像是所估计的像差参数和测量条件中的已知相对差的函数；d更新所估计的像差参数；e迭代地执行步骤c和d；f将最终像差参数确定为所估计的提供误差函数的最小值的像差参数。
本发明授权确定由带电粒子束工具获取的图像中的像差的方法、确定带电粒子束工具的设置的方法和带电粒子束工具在权利要求书中公布了：1.一种确定在由带电粒子束工具获取的图像中的像差的方法，所述方法包括以下步骤：a使用所述带电粒子束工具获取样品的两个或更多个图像，其中在所述带电粒子束工具的测量条件中的已知相对差下来获取每个图像；b针对探测轮廓的所述像差，选择估计像差参数，所述探测轮廓代表了所述带电粒子束工具所使用的所述带电粒子束；c评估误差函数，所述误差函数指示在所述两个或更多个图像与两个或更多个估计图像之间的差，所述两个或更多个估计图像是取决于所述估计像差参数和所述测量条件中的所述已知相对差；d更新所述估计像差参数；e迭代地执行步骤c和d；以及f将最终像差参数确定为提供了所述误差函数的最小值的所述估计像差参数。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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