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龙图腾网恭喜艾克斯特朗欧洲公司申请的专利用于CVD反应器的装载模块获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114586136B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080071632.0，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权用于CVD反应器的装载模块是由P.尼施勒设计研发完成，并于2020-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于CVD反应器的装载模块在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于处理一个或多个基板19的设备，所述设备具有一个或多个处理模块3、3’、3”，所述处理模块分别具有用于容纳基座10的处理室20，所述设备还具有抓取元件9，用于抓取具有基座10的传输模块2，所述设备还具有具备多个可冷却的存储位5的仓储模块21，所述设备还具有装卸闸室4，基座10通过装卸闸室能够从外部转送到传输模块2的搬运空间22内，并且所述设备还具有装载模块1，具有一个或多个基板19的基座10能够在装载模块内被装载和卸载。为了节省空间地布置设备的多个模块，在此建议，所述装载模块1、装卸闸室4和仓储模块21沿竖向彼此相叠地布置。

本发明授权用于CVD反应器的装载模块在权利要求书中公布了：1.一种用于处理一个或多个放置在基座10上的基板19的设备，所述设备具有仓储模块21，所述仓储模块具有多个可冷却或可加热的、用于分别存储至少一个基座10的存储位5，所述设备还具有用于处理一个或多个基板19的一个或多个处理模块3、3’、3”，所述处理模块分别具有用于容纳存放在仓储模块21内的基座10的处理室20，所述设备还具有装卸闸室4，基座10通过所述装卸闸室能够从外部转送到传输模块2的搬运空间22内，并且所述设备还具有装载模块1，所述装载模块具有装载腔18，具有一个或多个基板19的基座10能够在所述装载腔内被装载和卸载，所述设备还具有布置在所述传输模块2的搬运空间22内的抓取元件9，所述抓取元件设计为，分别将多个基座10中的一个在仓储模块21、处理室20、装载腔18或装卸闸室4之间转移，其特征在于，所述装载腔18沿竖向布置在所述装卸闸室4和仓储模块21的上方并且与所述装卸闸室4和仓储模块21共同构成一体式的、能够从所述传输模块2分离的组合体。

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