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龙图腾网恭喜马克思-普朗克科学促进协会申请的专利控制蒸发源材料的磁通分布的方法、测量在源表面上反射的电磁辐射的检测器及利用电磁辐射进行热蒸发的系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115867688B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080102628.6，技术领域涉及：C23C14/28；该发明授权控制蒸发源材料的磁通分布的方法、测量在源表面上反射的电磁辐射的检测器及利用电磁辐射进行热蒸发的系统是由沃尔夫冈·布劳恩设计研发完成，并于2020-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本控制蒸发源材料的磁通分布的方法、测量在源表面上反射的电磁辐射的检测器及利用电磁辐射进行热蒸发的系统在说明书摘要公布了：本发明涉及控制用于利用电磁辐射120进行热蒸发的系统10中的蒸发源材料20的磁通分布30的方法，其中系统10包括：用于提供电磁辐射120的电磁辐射源110；包含反应气氛16的真空室12；和用于测量电磁辐射120的检测器40，其中源材料20和待涂布目标材料18布置在真空室12中，辐射源布置为使得其电磁辐射120以一定角度，优选以45°的角度撞击在源材料20的源表面22上，以使源材料20在等离子体阈值以下热蒸发和或升华，其中用于测量电磁辐射120的检测器40被布置为使得在源表面22上反射的电磁辐射120到达检测器40。此外，本发明涉及测量电磁辐射120的检测器40，检测器40优选地适合于根据本发明的方法，本发明还涉及用于利用电磁辐射120进行热蒸发的系统10，该系统适合于根据本发明的方法。

本发明授权控制蒸发源材料的磁通分布的方法、测量在源表面上反射的电磁辐射的检测器及利用电磁辐射进行热蒸发的系统在权利要求书中公布了：1.一种控制系统10中的蒸发源材料20的磁通分布30的方法，所述系统10用于利用电磁辐射120进行热蒸发，其中，所述系统10包括：用于提供电磁辐射120的电磁辐射源110；包含反应气氛16的真空室12；以及用于测量电磁辐射120的检测器40，其中，源材料20和待涂布的目标材料18布置在所述真空室12中，并且所述辐射源被布置为使得其电磁辐射120以一定角度撞击在所述源材料20的源表面22上，以使所述源材料20在等离子体阈值以下热蒸发和或升华，并且其中，用于测量电磁辐射120的所述检测器40被布置为使得在所述源表面22上反射的电磁辐射120到达所述检测器40，所述方法包括以下步骤：a限定从所述源表面22蒸发的源材料磁通的期望分布32和所述期望分布32所需的电磁辐射120的撞击分布130；b基于步骤a的所述期望分布32和所述撞击分布130确定在所述源表面22上反射的电磁辐射120的预期分布132；c通过所述电磁辐射源110以在步骤a中限定的所需撞击分布130提供电磁辐射120；d通过所述检测器40测量在所述源表面22上反射的电磁辐射120；e基于步骤d的测量数据确定在所述源表面22上反射的电磁辐射120的测量分布134；f确定在步骤b中确定的所述预期分布132与在步骤e中确定的所述测量分布134之间的差异；g重新确定由所述电磁辐射源110提供的电磁辐射120的所述所需撞击分布130，以最小化在步骤f中确定的所述差异；以及h通过所述电磁辐射源110以在步骤g中重新确定的所述所需撞击分布130提供电磁辐射120。

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